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本说明书实施方式提供一种光谱仪芯片制备方法、光谱测试方法及光谱仪。所述光谱仪芯片制备方法包括在探测器阵列衬底背面蒸镀由周期性交替的至少两种不同折射率介质层构成的第一光子晶体层；在第一光子晶体层表面蒸镀初始缺陷层；在初始缺陷层表面旋涂光刻胶；...
该专利属于上海科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海科技大学授权不得商用。

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