下载一种中熵合金涂层的强化方法的技术资料

文档序号:34816998

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本发明公开了一种中熵合金涂层的强化方法,包括如下步骤:将需要涂层的构件表面进行处理;将中熵合金靶以及Al靶分别安装在真空磁控溅射镀膜机的两个直流靶位置,将构件作为基体固定于样品台上,当溅射室内真空度达到预定值后,通入氩气,进行预溅射;调节溅...
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