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一种适用于大腔体的真空隔离阀制造技术
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下载一种适用于大腔体的真空隔离阀的技术资料
文档序号:34807745
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本发明公开了一种适用于大腔体的真空隔离阀,可将一个大腔体隔离形成两个独立的空间,包括隔离阀支撑框架、阀门支撑框架、阀门、弹簧机构和径向驱动机构,所述隔离阀支撑框架的下表面固定连接有导轨,所述导轨内部固定连接有真空电机,该适用于大腔体的真空隔...
该专利属于中国科学院高能物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院高能物理研究所授权不得商用。
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