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本发明的实施例提供了一种半导体外延结构和半导体外延结构的制备方法，涉及半导体外延技术领域，该半导体外延结构包括衬底、成核层和缓冲层，本发明通过在衬底上形成成核层，然后再在成核层上形成缓冲层，其中，成核层包括多层周期性掺杂且重复排列的半导体周...
该专利属于湖南三安半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南三安半导体有限责任公司授权不得商用。

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