下载一种载具及气密检测装置的技术资料

文档序号:34803372

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本发明属于检测设备技术领域,公开了一种载具及气密检测装置。载具包括用于承载屏幕组件的底座、第一密封部、第二密封部及供气通道,底座上设置有环形槽,放置于底座上的屏幕组件能够遮盖环形槽,第一密封部及第二密封部分别设置于环形槽的内环槽壁的外周及外...
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