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多路控制复合功能器件制造技术
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文档序号:34802967
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本发明公开了一种多路控制复合功能器件,主要解决现有氮化镓基功率晶体管只能单向阻断的问题。其自下而上包括:衬底、过渡层、沟道层和势垒层,沟道层和势垒层通过内部的隔离深槽分成多个条状结构;每个条状结构从左至右依次设置有左电极、左P型块、左凹槽、...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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