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提供了一种激光加工工件的方法，其中a)生成加工激光束并使用至少一个光学元件将加工激光束成像在工件上；b)使用成像加工激光束加工工件并在工件中生成切割间隙；c)在步骤b)期间监测至少一个切割间隙的几何参数；以及d)在步骤c)期间调节所监测的切...
该专利属于百超激光有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过百超激光有限公司授权不得商用。

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