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一种研磨抛光残留物清洗液及其制备方法与应用技术
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文档序号:34792200
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本发明属于精细化工技术领域,具体公开了一种研磨抛光残留物清洗液及其制备方法与应用。本发明通过将具有支链结构的表面活性剂、超高分子量聚乙二醇漂洗助剂、分散剂、自消泡型清洗助剂、功能助剂和稳定剂添加到水中,混合均匀后,过滤得到一种研磨抛光残留物...
该专利属于三达奥克化学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三达奥克化学股份有限公司授权不得商用。
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