下载一种研磨抛光残留物清洗液及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:34792200

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本发明属于精细化工技术领域,具体公开了一种研磨抛光残留物清洗液及其制备方法与应用。本发明通过将具有支链结构的表面活性剂、超高分子量聚乙二醇漂洗助剂、分散剂、自消泡型清洗助剂、功能助剂和稳定剂添加到水中,混合均匀后,过滤得到一种研磨抛光残留物...
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