下载外延结构层及其制备方法和LED芯片的技术资料

文档序号:34783312

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本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种外延结构层及其制备方法和LED芯片。外延结构层,包括依次设置于衬底之上的缓冲层、N型半导体层、有源层和P型半导体层;缓冲层包括层叠设置的第一缓冲层和第二缓冲层,第一缓冲层靠近衬底;第一缓冲层掺杂有...
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