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法国原子能及替代能源委员会
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MEMS扬声器和此类扬声器的微制造方法技术
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文档序号:34765417
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本发明的一个方面涉及一种适用于生成可听声波的MEMS扬声器,包括在第一平面(P1)中延伸的双金属条致动系统(110)和放大胶囊(120),包括:
...
该专利属于法国原子能及替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过法国原子能及替代能源委员会授权不得商用。
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