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正型感光性组合物及干膜,图案化的抗蚀剂膜、带铸模基板及镀覆造型物的制造方法技术
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文档序号:34763273
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本发明提供一种固体成分浓度较高、保存稳定性良好且能够形成对显影液的排斥以及膨润得到抑制、裂纹抗性优异的感光性层的化学放大型正型感光性组合物、具备由该化学放大型正型感光性组合物构成的感光性层的感光性干膜、使用所述化学放大型正型感光性组合物的图...
该专利属于东京应化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。
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