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本申请公开了一种流量传感器及其制作方法，所述方法包括：提供柔性衬底(1)；在所述柔性衬底(1)表面形成牺牲层(2)；在所述牺牲层(2)上形成加热电阻(3)，所述加热电阻(3)位于所述柔性衬底(1)表面的中心；在所述柔性衬底(1)表面形成多个...
该专利属于南京高华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京高华科技股份有限公司授权不得商用。

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