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本发明提供了一种太赫兹膜厚测量装置及电子设备,属于太赫兹设备技术领域,解决了现有的太赫兹膜厚测量仪在无法准确获取被测镀膜的位置数据的问题。太赫兹膜厚测量装置,包括:光谱仪主机、太赫兹探头和位置探测机构;太赫兹探头与光谱仪主机通信连接,太赫兹...该专利属于莱仪特太赫兹(天津)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过莱仪特太赫兹(天津)科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种太赫兹膜厚测量装置及电子设备,属于太赫兹设备技术领域,解决了现有的太赫兹膜厚测量仪在无法准确获取被测镀膜的位置数据的问题。太赫兹膜厚测量装置,包括:光谱仪主机、太赫兹探头和位置探测机构;太赫兹探头与光谱仪主机通信连接,太赫兹...