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本实用新型公开了一种双晶振片镀膜离子源防串扰装置，涉及镀膜机离子源技术领域，包括：挡板基体和设于挡板基体顶端的连接板，所述挡板基体上开设有若干开孔。有益效果：通过连接板将挡板基体与工件连接，挡板基体开设的若干开孔设计，使离子源轰击进入能量可...
该专利属于苏州华英光电仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州华英光电仪器有限公司授权不得商用。

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