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本发明公开了一种溅射靶材及其制备方法，该溅射靶材包括靶材本体和包裹靶材本体底部及外侧的焊接壳。所述焊接壳为通过搅拌摩擦焊或电子束焊接实现与靶材本体间紧密结合。溅射靶材的制备方法包括：步骤一：靶材本体底部贴覆金属板，靶材本体的周向嵌套金属环，...
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