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本实用新型公开了一种多台阶静电探针探头，包括石墨护套，其端部设置有径向高度呈逐渐降低的径向第一台阶面、径向第二台阶面和径向第三台阶面；径向第一台阶面设置有一个悬浮电位探针，径向第二台阶面设置有两个双探针和两个悬浮电位探针，径向第三台阶面设置...
该专利属于核工业西南物理研究院所有，仅供学习研究参考，未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。

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