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波长监控设备制造技术
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文档序号:3472549
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本发明公开一种波长监控设备,其包括:由周期多层结构制成的光学装置;光学耦合到多层结构的至少一个端面上的光源,该一个端面不平行于多层结构的层面;光束探测装置,用于探测从多层结构的至少一个表面上相对于特定波长以特定角度发射的光束,所述表面平行于...
该专利属于日本板硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本板硝子株式会社授权不得商用。
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