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本发明实施例公开了一种石英坩埚,所述石英坩埚包括:底部部分;周向部分,所述周向部分包括径向内侧上的附加层;其中,所述附加层包括富氧层以及设置在所述富氧层上的硅基富氢层。石英坩埚的硅基富氢层将首先被分解并且分解出的氢将在对流的作用下浸入单晶硅...该专利属于西安奕斯伟材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奕斯伟材料科技有限公司授权不得商用。
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