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用于数字微流体的空间可变介电层制造技术
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下载用于数字微流体的空间可变介电层的技术资料
文档序号:34686205
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一种数字微流体装置,包括由薄膜晶体管控制的推进电极的有源矩阵。该装置包括不同推进电极密度的至少两个区域。可以通过从电源或函数发生器直接驱动推进电极来驱动一个区域。在第一较高密度区域中,第一介电层覆盖推进电极。第一介电层具有第一介电常数和第一...
该专利属于核酸有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过核酸有限公司授权不得商用。
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