下载一种晶棒开方防崩边装置的技术资料

文档序号:34683801

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本实用新型涉及晶棒加工技术领域,提供一种晶棒开方防崩边装置,包括主台面及边皮支撑组件,边皮支撑组件围绕主台面均匀分布有四套;每套边皮支撑组件包括底座及对称设于底座上的两根支撑件,每根支撑件的顶端在自由状态时高于主台面、其可弹性伸缩以贴合晶棒...
该专利属于四川永祥光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川永祥光伏科技有限公司授权不得商用。

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