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本发明公开了一种基于单光纤激光诱导击穿光谱的真空度在线检测系统及方法，系统中，激光器生成激发激光通过光纤诱导击穿光谱的激光，光纤耦合器耦合注入激光，单光纤连接光纤耦合器以传输激光，LIBS探头一端连接单光纤，另一端探入真空灭弧室，激光经由L...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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