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本实用新型涉及一种硅片运输搬运装置，具体是一种硅片转运推车，包括推车箱体、箱门和烘干装置；所述推车箱体内部开设有容纳腔，烘干装置设置在容纳腔内；所述烘干装置还包括烘干扇、过水槽和出水口；推车箱体一侧内设置有烘干扇，所述烘干扇的作用面正对所述...
该专利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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