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本发明提出了一种用于多相等离子体发生装置的集成变压器电源系统,涉及大功率多相等离子体发生器的电源领域。包括依次连接的调压控频单元、集成变压器单元和等离子体发生器,通过改变集成变压器单元的接线方式,即可得到多相输出电源,以适应不同的多相等离子...该专利属于领航国创等离子技术研究院(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过领航国创等离子技术研究院(北京)有限公司授权不得商用。
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本发明提出了一种用于多相等离子体发生装置的集成变压器电源系统,涉及大功率多相等离子体发生器的电源领域。包括依次连接的调压控频单元、集成变压器单元和等离子体发生器,通过改变集成变压器单元的接线方式,即可得到多相输出电源,以适应不同的多相等离子...