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本发明公开了一种EOD生产用尾气处理装置，包括分液罐，分液罐设有进料端和出气端，分液罐的出气端通过管道与洗涤塔Ⅰ下方的进气口Ⅰ连通，洗涤塔Ⅰ内由下至上依次设有填料层、喷淋设备和除雾器，洗涤塔Ⅰ的底部设有存液罐，存液罐内设有碱液，洗涤塔Ⅰ的外...
该专利属于联泓新材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过联泓新材料科技股份有限公司授权不得商用。

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