下载用于集成DWDM发射器的方法和系统的技术资料

文档序号:3461515

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一种集成DWDM发射器装置,包括:支撑部件以及与支撑部件重叠的硅基二氧化硅基片。支撑部件包括温度调整部件。硅基二氧化硅基片与支撑部件重叠,并且包括二氧化硅层和硅层。硅基二氧化硅基片包括对应的基片表面,基片表面包括第一表面区域和第二表面区域。...
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