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本发明公开了一种基于二自由度谐振器的谐振式压力传感器及其制备方法.所公开的传感器包括硅基底、敏感膜片、锚点及两个谐振器，两个谐振器通过耦合结构微弱的耦合在一起，二自由度谐振器系统固定于四个锚点，其中一个锚点位于敏感膜片中心与边缘的中点处；两...
该专利属于西安近代化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过西安近代化学研究所授权不得商用。

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