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本实用新型公开了一种晶圆物料传输及存储装置，包括储存箱，所述储存箱的一侧内面之间固定连接有隔板；本实用新型能够圆形拖板能够从晶圆的底面中心位置对其进行承托，并且两个夹持板能够在伺服电机的作用下对晶圆的两侧外缘进行固定，保证了晶圆在传输和存储...
该专利属于西联机械技术（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西联机械技术（无锡）有限公司授权不得商用。

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