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提供了一种方法和系统，其经配置成获取由检验工具所获得的半导体样品的一个或多个第一区域的图像；确定提供一个或多个第一区域中的缺陷性的信息的数据D
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该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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