下载柔性薄膜压力传感器结构的技术资料

文档序号:34597087

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本实用新型公开一种柔性薄膜压力传感器结构,包括:圆形的中心传感器区和与所述中心传感器区周边边缘相联的周边传感器区,所述周边传感器区以所述中心传感器区为中心成中心对称结构,所述中心传感器区和所述周边传感器区内设折线型传感结构。本实用新型在不增...
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