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本申请公开了一种气密性检测装置、系统及设备，气密性检测装置包括用于夹持固定被测物的夹持组件、以及压力传感器，压力传感器的探测头对夹持固定于夹持组件上的被测物的待检测表面施加一作用力，使得待检测表面产生变形，并用于读取作用力的大小。本申请采用...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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