下载一种多结的近红外单光子雪崩二极管及制备方法的技术资料

文档序号:34574920

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本发明涉及一种多结的近红外单光子雪崩二极管及制备方法,该二极管包括第一P+区、第一N阱、高压P阱、P型外延层、N+区、第二N阱、高压N阱、第一N埋层、第二N埋层、第一沟槽隔离区、第二沟槽隔离区、第二P+区、P型衬底、阳极、阴极和接地电极。该...
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