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本实用新型公开了一种碳化硅微粉负压收集装置，包括底板、收集桶与设置在收集桶内的滤筒，所述底板上端固定连接有工作台，所述底板上设有用于清理滤筒表面颗粒的清理机构，所述清理机构包括固定连接在底板上端的驱动电机，所述底板上端转动连接有转动轴，所述...
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