下载半导体外延结构及其制备方法、半导体光电器件的技术资料

文档序号:34560006

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本发明揭示了一种半导体外延结构及其制备方法、半导体光电器件,所述半导体外延结构包括衬底及位于衬底上的有源区结构,所述有源区结构从下向上依次包括数字合金量子阱层、第一势垒层、量子点层及第二势垒层,所述数字合金量子阱层为(AlN)
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该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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