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一种ＲＦ装置，具有一个支撑结构。一个ＲＦ电极，与所述支撑结构相耦合，包括导电的和电介质部分。一个冷却元件，与所述支撑结构相耦合，其被配置为冷却ＲＦ电极的背表面。所述冷却元件离所述ＲＦ电极的背表面一定距离。...
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