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本发明公开了一种抛物线型波导高效光栅耦合器，包括依次从下往上的硅衬底、理想电导体PEC、绝缘层和顶硅层，绝缘层为二氧化硅，顶硅层为波导区域，波导区域中的光栅区域中刻蚀有周期性的抛物线型波导结构。绝缘层厚度为2.5μm；理想电导体PEC厚度为...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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