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一种微小型组合式多维力传感器结构制造技术
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下载一种微小型组合式多维力传感器结构的技术资料
文档序号:34518801
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本发明公开了一种微小型组合式多维力传感器结构,包括传感器主体与外壳一、外壳二;2个水平主梁与2个垂直主梁呈十字形布设在内圆台的外周;水平主梁与垂直主梁的末端均连接一垂直浮动梁,水平浮动梁由2根薄壁弧形梁组成;水平浮动梁两端均通过环形台与外圆...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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