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本发明公开了一种具有亚波长结构蓝光探测芯片的制备方法，该方法包括选取二氧化硅片，对二氧化硅片依次进行超声清洗处理和烘干处理；基于真空环境下，对二氧化硅片进行蒸镀处理，生成铝金属层；在铝金属层上表面沉积硅外延层，并通过光刻工艺与离子注入法对硅...
该专利属于暨南大学所有，仅供学习研究参考，未经过暨南大学授权不得商用。

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