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本发明公开了一种硅光子芯片光耦合结构及其制造方法，该硅光子芯片光耦合结构包括硅衬底；所述硅衬底的器件层上设置有硅光子芯片功能结构区域，所述硅光子芯片功能结构区域上设置有光波导区域和光耦合区；所述光耦合区上设置有倒脊形沟槽，光耦合区从硅衬底的...
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