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本发明提供了一种体声波谐振器的制造方法，该制造方法包括：提供衬底，该衬底包括第一表面以及与其相对的第二表面；刻蚀衬底以在第一表面形成凹槽，并利用牺牲材料对该凹槽进行填充；在衬底上形成覆盖凹槽的叠层结构，该叠层结构从下至上依次包括下电极、压电...
该专利属于苏州汉天下电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州汉天下电子有限公司授权不得商用。

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