下载纳米片功率器件的结构、制造方法及电力电子设备的技术资料

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一种纳米片功率器件的结构、制造方法及电力电子设备,属于半导体技术领域,通过纳米片堆叠部位于隔离层的上表面,在水平面呈H型,包括平行交替设置的多个牺牲层和多个第二纳米片层;在第二纳米片层中,第一半导体类型区、第二半导体类型区、第三半导体类型区...
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