下载一种摩擦电空气耦合超声换能器的技术资料

文档序号:34510412

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本发明公开了一种摩擦电空气耦合超声换能器,其中,一种包括多个紧密排列的基本结构单元;各基本结构单元包括顺次设置的上电极层、第一聚合物层、栅格层、第二聚合物层和下电极层;所述栅格层为上下贯通结构设置,与第一聚合物层和第二聚合物层形成谐振腔;所...
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