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本实用新型涉及一种新型晶圆缺陷检测装置，包括底座及依次设置在底座上料架、取料装置、晶圆旋转定位装置、晶圆架移动装置、晶圆翻转装置、晶圆缺陷检测装置、打点装置、烘干装置和放料装置；在晶圆架移动装置上设置晶圆架，晶圆放置在晶圆架上。本实用新型具...
该专利属于无锡光诺自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡光诺自动化科技有限公司授权不得商用。

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