下载多层坩埚及具有其的长晶炉的技术资料

文档序号:34501021

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种多层坩埚,包括从内到外依次同轴设置的内坩埚、外坩埚和中坩埚;内坩埚限定出晶体生长空间,中坩埚与内坩埚限定出熔料空间,中坩埚与所述外坩埚限定出加料空间;在熔料空间中,沿内坩埚的周向设置有第一遮挡件,第一遮挡件与内坩埚的侧壁以...
该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。