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本实用新型涉及一种晶圆框架平面度检测装置，包含底座，底座上设置有晶圆框架载台，晶圆框架载台用于承载晶圆框架；所述底座中设置有激光传感器，晶圆框架载台在对应激光传感器的位置处开孔，激光传感器用于检测晶圆框架载台上的晶圆框架；本方案的晶圆框架平...
该专利属于太极半导体（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过太极半导体（苏州）有限公司授权不得商用。

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