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本发明公开了一种晶圆表面缺陷检测装置和方法，激光器的光源出射激光，通过光源调制组件的调制以后，聚焦到检测晶圆表面待测位置；聚焦光斑的散射光进入散射测量通道，经过散射调制组件调制以后汇聚到PMT探测器，进行散射能量探测；聚焦光斑的反射光进入反...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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