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本发明提供了一种硅基分模器及其制备方法，硅基分模器包括依次层叠的衬底、下包层、芯层及上包层；所述芯层包括相互连接的波导和功能区，所述波导包括第一波导和第二波导；所述功能区位于所述第一波导和所述第二波导之间，所述第一波导包括依次连接的第一宽波...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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