下载一种单晶炉坩埚埚托架的技术资料

文档序号:34481527

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本实用新型公开一种单晶炉坩埚埚托架,所述托架机构上方设有托盘,所述托盘内垂直贯穿设有通气槽,所述托盘内嵌设有盘型水冷管,所述托盘下方设有连接槽,所述连接托杆上端设有适配阶,所述连接托杆上方通过锁定机构与连接槽适配,所述连接托杆上设有限位环,...
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