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本发明属于半导体技术领域，公开了一种静电消除系统及晶圆清洗过程中消除静电的方法。所述静电消除系统包括导电机械手，导电机械手连接机械人，机械人接地；所述导电机械手包括阳极氧化铝手臂，阳极氧化铝手臂上嫁接铝合金手臂。所述晶圆清洗过程中消除静电的...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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