下载外延结构及其生长方法的技术资料

文档序号:34474805

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种外延结构及其生长方法,该外延结构从下至上依次包括复合图形化衬底、缓冲层、GaN成核层、n型GaN层、多量子阱层、电子阻挡层及P型GaN层,在复合图形化衬底与缓冲层之间设有预备层,预备层包括第一子层及第二子层,第一子层包括Al原...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。