下载一种单圆盘贴膜装置的技术资料

文档序号:34474089

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本申请公开了一种单圆盘贴膜装置,属于晶圆生产技术领域,包括支撑底座,支撑底座上滑动连接有两个支柱,两个支柱的顶部均固定连接有顶板,两个顶板上均螺纹连接有第一螺纹杆,两个第一螺纹杆的底端均转动连接有移动座,两个移动座之间转动连接有同一个覆膜辊...
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